MEMF4015微型口罩呼吸机气体质量流量计

使用须知

1.产品仅使用于工业环境范围内的气体测量，监测。连接电源响应时间为≥5秒。

2.产品仅在清洁气体环境中使用，不适用于有大量粉尘，油污及腐蚀性气体。对有大量水汽的环境，请事先与厂家联系。

3.在使用或应用本产品时，应严格遵循相应有关操作规范和操作人安全注意事项和规程。

4.在使用本产品之前请仔细阅读说明书。

5.如对说明书有任何凝问，请及时与厂家联系。

6.其他事项宜以销售合同为准。

注意事项

产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常使用。

安装是应注意气体流向标志，连接和捡漏应按相应规程进行。

在使用过程中，清洗管道或其他可能引入大量杂质的操作都有可能对产品带来损坏。

产品概述

本产品采用具有自主知识产权的MEMS气体质量流量传感器技术，能根据用户的需求提供精确的在线流量计量。传感器系采用*特的CMOS兼容MEMS工艺制造，保证其具有较高的可靠性。传感器可测量低至0.01m/sec及高达65m/sec。针对不同的应用，传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及 介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以保证高精度输出。

不同于其它MEMS传感技术，单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理，在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提高其可靠性。当没有气体介质流过MEMS传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）。当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重分布。这种局部温度场变化取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流速。介质质量流速则可换算成体积流速及累计介质体积流量。

二、流量芯片测量原理

MEMS气体质量流量计是基于热扩散原理的气体流量测量仪表，它无须温压补偿，直接测出流体的质量流量。它的**特点是：可以直接进行贸易结算；没有活动部件；压力损失小；量程比宽；精度高；可靠性高；安装简单；操作方便。

金氏定律即热扩散原理。金氏定律：流过热源的流体分子多少与热量散失的多少成正比。二是恒温差法。可用表达式来具体说明：

P/ △ T=A+B（Q）m

其中P表示消耗功率；△T表示两个传感器之间的温度差；

Q表示质量流量；m表示指数系数，

A，B是与气体物理性质有关的常数。

三、产品应用

● 科教实验室

● 医疗单位

● 电子单位

● 各种高纯气体的测量

● 各种相关产品配套使用

● 供气计量核算

● 相关行业工厂使用

四、技术参数

量程比             100:1

精度               1.5级

重复性             ±0 .75%

响应时间            <1秒   

工作电源           12~24VDC  

输出方式           485

大流量压损       100Pa

*作压力       1.0MPa

工作温度           -10~+55℃

储存温度           -20~+65℃

工作湿度           10~95%RH(无结露，无凝露)