FS1015气体质量流量传感器 微机电系统MEMS流量传感器

FS1015气体质量流量传感器
产品简介：
FS1015系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司*的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。
产品特点：
专为呼吸机和麻醉机的流量计量需求而设计 
高灵敏度，应用热式质量流量计原理可测量 低至8mm/sec的流体流量 
无旁通结构，低压损 
传感器的零点稳定度高
经消毒液杀菌处理后可重复使用
自动转换量程的开关设计提高了测量精度 
主机设备上的用户界面可轻松实现线性输出
FS1015气体质量流量传感器参数：
技术参数：
产品	FS1015CL	单位
流量范围	0~150	SLPM
精度	±(1.5±0.1FS)	%
重复性	±0.75	%
响应时间	10（Max.）	msec
工作电压	5±1%	Vdc
输出方式	线性，模拟电压0.5~4.5Vdc	 
 大压损	500	Pa
 *作压力	0.2	MPa
工作温度	-10~55	oC
储存温度	-20~65	oC
工作湿度	<95(无结冰、无凝露)	%RH
机械接口
（入口:外;出口:内）；	ISO-15	 
机械尺寸：